图片由AI生成
- 高端制程(ArF, 7-28nm):实现从0到1的质变。南大光电是国内唯一实现ArF光刻胶规模化量产的企业,产品良率达99.7%,缺陷密度为0.03个/cm²,已通过中芯国际、华为海思验证。
这些进展意味着,当外部供应波动时,国内晶圆厂有了关键的“备份”选择,供应链的主动权正在增加。
二 推动技术自主与成本优化
国产化不仅是为了“有没有”,更关乎“好不好”。技术上的突破是循序渐进的。针对7nm以下先进制程的EUV光刻胶已进入预研阶段,但受限于EUV光源和光刻机设备短缺,实际验证进度缓慢。更现实的成果体现在对现有制程的支撑上。
例如,部分国产KrF光刻胶已通过中芯国际28nm工艺验证,武汉太紫微的T150A KrF光刻胶极限分辨率达120纳米,可通过多重曝光延伸至14nm制程。
比技术突破更直接的是经济效益。国产光刻胶带来了显著的成本优势:
- 价格更低:南大光电的ArF光刻胶价格比进口产品低30%。
- 交付更快:交付周期从国际厂商的6个月大幅缩短至1个月。
- 上游材料自主:企业通过自研降低原材料成本,例如彤程新材自产KrF光刻胶用PHS树脂,成本较进口降低35%。
更重要的是,国产化推动了产业链的深度协同。光刻胶厂商与国产光刻机制造商、晶圆厂建立了联合验证平台。例如,上海新阳与上海微电子联合开发光刻机适配参数,验证周期较国际厂商缩短6个月。这种“材料-设备-工艺”的协同优化,正在构建更健康、更自主的产业生态。
当然,挑战依然存在,尤其是在EUV光刻胶和部分高端原材料领域。但国产光刻胶从“测试机会为0”到百吨订单的跨越,已经为中国半导体产业的自主之路铺下了一块坚实的基石。
这场国产化浪潮中,产学研用的深度融合、上下游企业的协同发力至关重要,而2026深圳国际胶粘剂及化工原料 正是搭建这一桥梁的核心平台。作为立足亚洲、辐射全球的专业展会,本届展会(2026年10月27-29日,深圳国际会展中心·宝安新馆)将聚焦半导体光刻胶等多种胶粘剂展品,汇聚国内外光刻胶及相关化工原料头部企业,助力本土光刻胶企业拓宽市场渠道、对接半导体终端需求,加速核心技术产业化落地,进一步夯实中国半导体产业供应链韧性。依托亚洲材料周和ITWA亚洲工业科技展旗下九展联动优势,展会还将联动电子、新能源、汽车等多领域展会资源,打通光刻胶应用全场景链路,为行业同仁提供洞察趋势、链接商机、共促发展的核心契机,见证中国光刻胶产业崛起,共筑半导体产业自主可控新格局。