光刻胶展:光刻胶国产化对半导体产业有哪些影响

光刻胶国产化正在增强中国半导体产业的供应链韧性、技术自主性和成本竞争力。作为将电路图案“刻”到芯片上的核心材料,光刻胶曾长期被国外巨头垄断,而本土企业的突破正悄然改变游戏规则。

 

 一 筑牢供应链安全屏障

高端光刻胶市场长期被日本JSR、信越化学等企业垄断,占据全球80%以上份额。这种高度集中的供应格局带来了现实风险。2025年底,日本企业悄然收紧对华高端光刻胶出口,审批周期拉长,部分订单暂停。

由于高端光刻胶保质期仅3个月,物流与审批的双重限制让晶圆厂面临“断供即停摆”的压力。

正是这种危机感,倒逼国产替代加速。国内企业走了一条“先中低端、后高端”的路径,如今已形成阶梯式突破:

  • 成熟制程(G/I线):国产化率已超过95%,基本实现自给。
  • 中端制程(KrF, 28nm及以上):国产化进程迅猛。彤程新材的KrF光刻胶国内市占率已超40%,其产品在长江存储3D NAND工艺中的良率达到98.7%。2026年,国内KrF光刻胶产能预计翻倍,自给率接近五成。

图片由AI生成

  • 高端制程(ArF, 7-28nm):实现从0到1的质变。南大光电是国内唯一实现ArF光刻胶规模化量产的企业,产品良率达99.7%,缺陷密度为0.03个/cm²,已通过中芯国际、华为海思验证。

这些进展意味着,当外部供应波动时,国内晶圆厂有了关键的“备份”选择,供应链的主动权正在增加。

 

 二 推动技术自主与成本优化

国产化不仅是为了“有没有”,更关乎“好不好”。技术上的突破是循序渐进的。针对7nm以下先进制程的EUV光刻胶已进入预研阶段,但受限于EUV光源和光刻机设备短缺,实际验证进度缓慢。更现实的成果体现在对现有制程的支撑上。

例如,部分国产KrF光刻胶已通过中芯国际28nm工艺验证,武汉太紫微的T150A KrF光刻胶极限分辨率达120纳米,可通过多重曝光延伸至14nm制程。

比技术突破更直接的是经济效益。国产光刻胶带来了显著的成本优势:

  • 价格更低:南大光电的ArF光刻胶价格比进口产品低30%。
  • 交付更快:交付周期从国际厂商的6个月大幅缩短至1个月。
  • 上游材料自主:企业通过自研降低原材料成本,例如彤程新材自产KrF光刻胶用PHS树脂,成本较进口降低35%。

更重要的是,国产化推动了产业链的深度协同。光刻胶厂商与国产光刻机制造商、晶圆厂建立了联合验证平台。例如,上海新阳与上海微电子联合开发光刻机适配参数,验证周期较国际厂商缩短6个月。这种“材料-设备-工艺”的协同优化,正在构建更健康、更自主的产业生态。

当然,挑战依然存在,尤其是在EUV光刻胶和部分高端原材料领域。但国产光刻胶从“测试机会为0”到百吨订单的跨越,已经为中国半导体产业的自主之路铺下了一块坚实的基石。

这场国产化浪潮中,产学研用的深度融合、上下游企业的协同发力至关重要,而2026深圳国际胶粘剂及化工原料 正是搭建这一桥梁的核心平台。作为立足亚洲、辐射全球的专业展会,本届展会(2026年10月27-29日,深圳国际会展中心·宝安新馆)将聚焦半导体光刻胶等多种胶粘剂展品,汇聚国内外光刻胶及相关化工原料头部企业,助力本土光刻胶企业拓宽市场渠道、对接半导体终端需求,加速核心技术产业化落地,进一步夯实中国半导体产业供应链韧性。依托亚洲材料周和ITWA亚洲工业科技展旗下九展联动优势,展会还将联动电子、新能源、汽车等多领域展会资源,打通光刻胶应用全场景链路,为行业同仁提供洞察趋势、链接商机、共促发展的核心契机,见证中国光刻胶产业崛起,共筑半导体产业自主可控新格局。

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来源:热点解读